A vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) structure and fabrication
method therefor are described in which a subsurface air, gas, or vacuum
current confinement method is used to restrict the area of electrical flow
in the active region. Using vertical hollow shafts to access a subsurface
current confinement layer, a selective lateral etching process is used to
form a plurality of subsurface cavities in the current confinement layer,
the lateral etching process continuing until the subsurface cavities
laterally merge to form a single subsurface circumferential cavity that
surrounds a desired current confinement zone. Because the subsurface
circumferential cavity is filled with air, gas, or vacuum, the stresses
associated with oxidation-based current confinement methods are avoided.
Additionally, because the confinement is achieved by subsurface cavity
structures, overall mechanical strength of the current-confining region is
maintained.
Eine Laser des vertikalen Raums ausstrahlende (VCSEL) Struktur- und Herstellungsoberflächenmethode dafür werden beschrieben, in der eine unter der Oberfläche liegende Luft, ein Gas oder eine Vakuumgegenwärtige Beschränkungmethode benutzt wird, um den Bereich des elektrischen Flusses in die aktive Region einzuschränken. Das Verwenden der vertikalen hohlen Wellen, um eine unter der Oberfläche liegende gegenwärtige Beschränkungschicht, einen vorgewählten seitlichen Radierung Prozeß zugänglich zu machen wird, um eine Mehrzahl der unter der Oberfläche liegenden Räum in der gegenwärtigen Beschränkungschicht zu bilden, das seitliche Radierung Prozeßfortfahren verwendet, bis die unter der Oberfläche liegenden Räum seitlich vermischen, um einen einzelnen unter der Oberfläche liegenden Umfangsraum zu bilden, der eine gewünschte gegenwärtige Beschränkungzone umgibt. Weil der unter der Oberfläche liegende Umfangsraum mit Luft, Gas oder Vakuum gefüllt wird, werden die Drücke, die mit Oxidation-gegründeten gegenwärtigen Beschränkungmethoden verbunden sind, vermieden. Zusätzlich weil die Beschränkung durch unter der Oberfläche liegende Raumstrukturen erzielt wird, wird gesamte mechanische Stärke der gegenwärtig-begrenzenden Region beibehalten.
