Device nanotechnology based on silicon wafers and other substrates is
described. Methods for preparing such devices are discussed. The
teachings allow integration of current semiconductor device, sensor
device and other device fabrication methods with nanotechnology.
Integration of nanotubes and nanowires to wafers is discussed. Sensors,
electronics, biomedical and other devices are presented.
De nanotechnologie van het apparaat die op siliciumwafeltjes en andere substraten wordt gebaseerd wordt beschreven. De methodes om dergelijke apparaten worden voor te bereiden besproken. Het onderwijs staat integratie van huidig halfgeleiderapparaat, sensorapparaat en andere methodes van de apparatenvervaardiging met nanotechnologie toe. De integratie van nanotubes en nanowires aan wafeltjes wordt besproken. De sensoren, de elektronika, biomedische en andere apparaten worden voorgesteld.
