This invention provides a multielectron gun which generates a plurality of
electron beams having uniform characteristics. A multielectron gun (2) is
formed of a plurality of electron guns (2a-2c). The electron gun (2a) has,
in addition to an electron source (21a), Wehnelt electrode (22a), and
anode electrode (23), a shield electrode (24) between the Wehnelt
electrode (22a) and anode electrode (23). The shield electrode reduces
field interference among the electron guns.
Deze uitvinding verstrekt een multielectronkanon dat een meerderheid van elektronenstralen produceert die eenvormige kenmerken hebben. Een multielectronkanon (2) wordt gevormd van een meerderheid van elektronenkanonnen (2a-2c). Het elektronenkanon (2a) heeft, naast een elektronenbron (21a), elektrode Wehnelt (22a), en anodeelektrode (23), een schildelektrode (24) tussen de elektrode Wehnelt (22a) en anodeelektrode (23). De schildelektrode vermindert gebiedsinterferentie onder de elektronenkanonnen.
