System and method for evaluating the planarity and parallelism of an array of probe tips

   
   

A system includes a support member and a computer system. The support member holds and retains a probe card, which has an array of probe tips extending therefrom. The computer system includes a software program. The software causes the computer system to perform a method including the following. A position where electrical contact occurs between at least some of the probe tips of the probe tip array and a selected surface is determined through testing. Data for the positions where electrical contact occurs is recorded. The recorded data is sorted for a shortest distance where electrical contact occurred between each probe tip tested and the selected surface during the testing. The sorted data group is plotted on a three dimensional cartesian coordinate system. The system may be used for evaluating the planarity of the probe tip array and parallelism of the probe tip array relative to the selected surface.

Un sistema incluye un miembro de la ayuda y un sistema informático. El miembro de la ayuda sostiene y conserva una tarjeta de la punta de prueba, que tiene un arsenal de extremidades de la punta de prueba que extienden therefrom. El sistema informático incluye un programa del software. El software hace el sistema informático realizar un método incluyendo el siguiente. Una posición donde el contacto eléctrico ocurre entre por lo menos algunas de las extremidades de la punta de prueba del arsenal de la extremidad de la punta de prueba y una superficie seleccionada se determina con la prueba. Los datos para las posiciones donde ocurre el contacto eléctrico se registran. Los datos registrados se clasifican para una distancia más corta donde el contacto eléctrico ocurrió entre cada extremidad de la punta de prueba probada y la superficie seleccionada durante la prueba. El grupo clasificado de los datos se traza en un sistema coordinado cartesiano tridimensional. El sistema se puede utilizar para evaluar el planarity del arsenal de la extremidad de la punta de prueba y del paralelismo del arsenal de la extremidad de la punta de prueba concerniente a la superficie seleccionada.

 
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