For IC devices that have repeating structures, a method of generating a
database for making a mask layer starts with a hierarchical database
describing at least one repeating element in the layer, a skeleton that
surrounds the repeating elements, and instructions as to where to locate
the repeating elements within the skeleton. This database is modified to
generate a database that has optical proximity correction (OPC) for
diffraction of light that will pass through the mask and expose
photoresist on the IC layer. The optical-proximity corrected mask database
is fractured by a mask house using instructions on how the modified data
base will be divided to form repeating elements that are still identical
after OPC, a mask skeleton that includes non-repeating elements, and
instructions for placement of the repeating elements in the skeleton. Thus
the resulting mask database is smaller than a mask database that includes
all copies of repeating elements.
Voor IC apparaten die het herhalen van structuren hebben, begint een methode om een gegevensbestand te produceren voor het maken van een maskerlaag met een hiërarchisch gegevensbestand beschrijvend minstens één herhalend element in de laag, een skelet dat de het herhalen elementen, en instructies omringt waar te om van de het herhalen elementen binnen het skelet de plaats te bepalen. Dit gegevensbestand wordt gewijzigd om een gegevensbestand te produceren dat optische nabijheidscorrectie (Portlandcement) voor diffractie van licht heeft die door het masker zal overgaan en photoresist op de IC laag zal blootstellen. Het optisch-nabijheid verbeterde maskergegevensbestand wordt gebroken door een maskerhuis gebruikend instructies op hoe het gewijzigde gegevensbestand zal worden verdeeld om het herhalen van elementen te vormen die na Portlandcement, een maskerskelet nog identiek zijn dat niet-herhaalt elementen, en instructies voor plaatsing van de het herhalen elementen in het skelet omvat. Aldus is het resulterende maskergegevensbestand kleiner dan een maskergegevensbestand dat alle exemplaren van het herhalen van elementen omvat.
