Gas analyzing method and gas analyzer for semiconductor treater

   
   

A gas analyzer for a semiconductor treater improved to be capable of monitoring leakage or change of gas composition influencing treatability of the semiconductor treater in situ is provided. A duct is provided on the outer wall of a chamber of the semiconductor treater for taking out gas to be analyzed from the chamber. A gas analytic chamber stores the gas to be analyzed taken out through the duct. A discharge formation part is mounted in the vicinity of the gas analytic chamber. The discharge formation part includes a high frequency generation coil generating a high frequency and forming a plasma of the gas to be analyzed in the gas analytic chamber. This gas analyzer further comprises a spectrometer analyzing the emission wavelength of the plasma of the gas to be analyzed.

Газоанализатор для treater полупроводника улучшил для того чтобы быть способен контролировать утечку или обеспечено изменение газового состава влияя на treatability treater полупроводника in situ. Трубопровод обеспечен на наружной стене камеры treater полупроводника для принимать из газа, котор нужно проанализировать от камеры. Камера газа аналитически хранит газ, котор нужно проанализировать принятым вне через трубопровод. Часть образования разрядки установлена в близости камеры газа аналитически. Часть образования разрядки вклюает высокочастотную катушку поколения производя высокую частоту и формируя плазму газа, котор нужно проанализировать в камере газа аналитически. Этот газоанализатор более дальнейший состоит из спектрометра анализируя длину волны излучения плазмы газа, котор нужно проанализировать.

 
Web www.patentalert.com

< Method and apparatus to pre-scan and pre-treat film for improved digital film processing handling

< Drive apparatus and drive method for electromagnetic drive actuator

> Timing control for two-chamber gas discharge laser system

> Film phantom for three-dimensional dosimetry

~ 00167