A Langmuir-Blodgett film may be utilized as a chemically amplified
photoresist layer. Langmuir-Blodgett films have highly vertically oriented
structures which may be effective in reducing line edge or line width
roughness in chemically amplified photoresists.
Μια ταινία λανγμuηρ- Blodgett μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως χημικά ενισχυμένο photoresist στρώμα. Λανγμuηρ- Blodgett οι ταινίες ιδιαίτερα κάθετα έχουν προσανατολίσει τις δομές που μπορούν να είναι αποτελεσματικές στη μείωση της άκρης γραμμών ή της τραχύτητας πλάτους γραμμών χημικά ενισχυμένα photoresists.
