Substrate holding device, semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method

   
   

A substrate holding device includes a base member capable of removably holding a plate having a contact member to come into contact with a substrate. The base member flatten-corrects the plate by suctioning the plate. The substrate holding device further includes a first attracting mechanism that attracts the substrate onto the plate in a status such that the plate is held on the base member, and a second attraction mechanism that attracts the plate onto the base member.

Субстрат держа приспособление вклюает низкопробный член способный съемно держать плиту имея член контакта для того чтобы come into контакт с субстратом. Низкопробный член сплющивать-ispravl4et плиту путем suctioning плита. Субстрат держа приспособление более дальнейшей вклюает первый привлекая механизм привлекает субстрат на плиту в состоянии такие что плита держится на низкопробном члене, и второй механизм привлекательности который привлекает плиту на низкопробный член.

 
Web www.patentalert.com

< Knife

< Sword handle

> Transparent or translucent resin composition

> Injection molding of polymeric material

~ 00166