Linear motor, stage apparatus, and exposure apparatus

   
   

A linear motor includes a coil unit and a magnet unit. The coil unit includes an inner yoke extending in a moving direction and a coil arranged outside the inner yoke. The magnet includes a magnet arranged outside the coil. Each of the inner yoke, coil, and magnet includes a plurality of flat portions, the plurality of flat portions of the inner yoke are parallel to an axis of the coil. Each flat portion of the inner yoke is parallel to the corresponding flat portion of the coil and the corresponding flat portion of the magnet. A length of the inner yoke in a direction along the axis of the coil is longer than a length of the magnet in the direction along the axis of the coil, and the inner yoke has a prismatic structure formed by the plurality of flat portions supported by a support member.

Ein linearer Motor schließt eine Spule Maßeinheit und eine Magnetmaßeinheit ein. Die Spule Maßeinheit schließt ein inneres Joch mit ein, das in einer beweglichen Richtung verlängert und eine Spule ordnete außerhalb des inneren Jochs. Der Magnet schließt einen Magneten ordnete außerhalb der Spule mit ein. Jedes des inneren Jochs, Spule, und Magnet schließt eine Mehrzahl der flachen Teile ein, die Mehrzahl der flachen Teile des inneren Jochs sind zu einer Mittellinie der Spule parallel. Jeder flache Teil des inneren Jochs ist zum entsprechenden flachen Teil der Spule und zum entsprechenden flachen Teil des Magneten parallel. Eine Länge des inneren Jochs in einer Richtung entlang die Mittellinie der Spule ist länger als eine Länge des Magneten in der Richtung entlang die Mittellinie der Spule, und das innere Joch hat eine prismatische Struktur, die durch die Mehrzahl der flachen Teile gebildet wird, die von einem Stützteil gestützt werden.

 
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