Reflectometer device

   
   

A reflectometer device for determining the quality characteristics of an electronic chip mask blank utilizing a source of electromagnetic radiation in the extreme ultraviolet region. The source is passed to a monochrometer which includes a mirror, a rotatable grating, and an exit slit. The radiation travels to the mirror and is reflected to the grating which, in turn, provides a source of electromagnetic radiation which is essentially continuous and of a particular bandwidth. The grating is rotated to tune such source of electromagnetic radiation which is passed to the subject blank mask. Upon reflection from the mask, a detector determines the intensity of the reflected beam from the mask and translates such measurement into a determination of reflectivity.

Приспособление рефлектометра для обусловливать характеристики качества электронного пробела маски обломока используя источник электромагнитного излучения в весьма ультрафиолетов зоне. Источник передан к monochrometer вклюает зеркало, ротатабельную решетку, и разрез выхода. Радиация перемещает к зеркалу и отражена к решетке, в свою очередь, обеспечивает источник электромагнитного излучения которое необходимо непрерывно и определенной ширины полосы частот. Решетка вращана для того чтобы настроить такой источник электромагнитного излучения передано к subject пустой маске. На отражении от маски, детектор обусловливает интенсивность отраженного луча от маски и переводит такое измерение в определение отражательной способности.

 
Web www.patentalert.com

< Thin magnetron structures for plasma generation in ion implantation systems

< Meiotic spindle imaging in oocytes and uses therefor in in vitro fertilization

> Reconfigurable memory architecture

> Linear filter based wavelength locking optical sub-assembly and associated methods

~ 00166