The present invention provides a rotating shaft that can extend between two
regions having different ambient pressures. The rotating shaft can include
a rotatable hollow outer shell that is coupled to a proximal portion of an
inner shaft with a limited number of contact points. A plurality of
thermal breaks disposed between the inner shaft and the hollow outer shell
impede heat transfer between these two components. A rotary seal coupled
to the distal portion of the inner shaft preserves the pressure
differential between the two regions. Further, a heat sink removes heat
transferred to the seal to ensure that the temperature of the seal remains
within a range suitable for its operation. The rotating shaft of the
invention can be utilized, for example, in an ion implantation system by
the coupling of the outer shell to a wafer holder to position and orient a
wafer in a path of an ion beam.
La présente invention fournit un axe tournant qui peut se prolonger entre deux régions ayant différentes pressions ambiantes. L'axe tournant peut inclure une coquille externe creuse rotative qui est couplée à une partie proximale d'un axe intérieur avec un nombre limité de points de contact. Une pluralité de coupures d'courant ascendant a disposé entre l'axe intérieur et la coquille externe creuse empêchez le transfert thermique entre ces deux composants. Un joint rotatoire couplé à la partie distale de l'axe intérieur préserve la différence de pression entre les deux régions. De plus, un radiateur enlève la chaleur transférée au joint pour s'assurer que la température du joint demeure dans une marge appropriée à son opération. L'axe tournant de l'invention peut être utilisé, par exemple, dans un système d'implantation ionique par l'accouplement de la coquille externe à un support de gaufrette pour placer et orienter une gaufrette dans un chemin d'un faisceau d'ions.
