Cerium oxide abrasive and method of polishing substrates

   
   

A cerium oxide abrasive slurry having, dispersed in a medium, cerium oxide particles whose primary particles have a median diameter of from 30 nm to 250 nm, a maximum particle diameter of 600 nm or smaller, and a specific surface area of from 7 to 45 m.sup.2 /g, and slurry particles have a median diameter of from 150 nm to 600 nm. The cerium oxide particles have structural parameter Y, representing an isotropic microstrain obtained by an X-ray Rietvelt method (with RIETAN-94), of from 0.01 to 0.70, and structural parameter X, representing a primary particle diameter obtained by an X-ray Rietvelt method (with RIETAN-94), of from 0.08 to 0.3. The cerium oxide abrasive slurry is made by a method of obtaining particles by firing at a temperature of from 600.degree. C. to 900.degree. C. and then pulverizing, then dispersing the resulting cerium oxide particles in a medium.

Ένας λειαντικός πηλός οξειδίων δημήτριου που έχουν, διασκορπισμένος σε ένα μέσο, τα μόρια οξειδίων δημήτριου τα των οποίων αρχικά μόρια έχουν μια μεσαία διάμετρο από 30 NM σε 250 NM, μια μέγιστη διάμετρος μορίων 600 NM ή μικρότερος, και μια συγκεκριμένη περιοχή επιφάνειας από 7 έως 45 m.sup.2/g, και τα μόρια πηλού έχουν μια μεσαία διάμετρο από 150 NM σε 600 NM. Τα μόρια οξειδίων δημήτριου έχουν τη δομική παράμετρο Υ, που αντιπροσωπεύει ένα ισοτροπικό microstrain που λαμβάνεται με μια των ακτίνων X μέθοδο Rietvelt (με ρηεταν- 94), από 0,01 έως 0,70, και τη δομική παράμετρο Χ, που αντιπροσωπεύει μια αρχική διάμετρο μορίων που λαμβάνεται με μια των ακτίνων X μέθοδο Rietvelt (με ρηεταν- 94), από 0,08 έως 0,3. Ο λειαντικός πηλός οξειδίων δημήτριου γίνεται με μια μέθοδο τα μόρια από την πυρκαγιά σε μια θερμοκρασία από 600.degree. Γ. σε 900.degree. Γ. και έπειτα, διασκορπίζοντας έπειτα τα προκύπτοντα μόρια οξειδίων δημήτριου σε ένα μέσο.

 
Web www.patentalert.com

< Carbonaceous material, its production process and electric double layer capacitor employing it

< Process to reduce mercury emission

> Methods for making composite bonded structures

> Process of separating/purifying pentafluoropropane

~ 00166