A UV-transmissable window assembly for a DMD device includes a
UV-transmissable glass window provided in a frame. The window and frame
are bonded together to preferably effect a hermetic seal therebetween.
Optical coatings specific to the intended wavelength of light transmission
are applied to the inner and outer surfaces of the glass window to reduce
reflection and increase light transmission therethrough. The window
assembly, and DMD provided with the same, is adapted for excellent
transmission of ultraviolet light, even at the deep ultraviolet portion of
the spectrum. The DMD window assembly has application in the medical arts,
both surgery and device manufacture, in the production of integrated
circuits (IC), and in other optical lithography applications, among other
fields.
Une fenêtre UV-TRANSMISSABLE pour un dispositif de DMD inclut une fenêtre de verre UV-TRANSMISSABLE fournie dans une armature. La fenêtre et l'armature sont collées ensemble pour effectuer de préférence un joint hermétique therebetween. Des enduits optiques spécifiques à la longueur d'onde prévue de la transmission légère sont appliqués aux surfaces intérieures et externes de la fenêtre de verre pour réduire la réflexion et pour augmenter la transmission légère par là. La fenêtre, et DMD a fourni en même chose, est adapté pour l'excellente transmission de la lumière UV, même à la partie ultra-violette profonde du spectre. La fenêtre de DMD a l'application dans les arts médicaux, chirurgie et fabrication de dispositif, dans la production des circuits intégrés (IC), et dans d'autres applications optiques de lithographie, entre d'autres champs.
