A vacuum processing method that includes placing an article to be processed
in a reaction container and simultaneously supplying at least two
high-frequency powers having mutually different frequencies to at least
one high-frequency electrode to generate plasma in the reaction container
by the high-frequency powers introduced into the reaction container from
the high-frequency electrode(s), thereby processing the article. The
frequencies and power values of the at least two high-frequency powers
supplied satisfy required relationships.
Метод вакуума обрабатывая вклюает устанавливать статью, котор нужно обрабатывать в контейнере реакции и одновременно поставлять по крайней мере 2 высокочастотной энергии имея взаимно по-разному частоты до по крайней мере один высокочастотный электрод для того чтобы произвести плазму в контейнере реакции высокочастотными энергиями введенными в контейнер реакции от высокочастотного electrode(s), таким образом обрабатывая статью. Частоты и значения силы по крайней мере 2 поставленных высокочастотных энергий удовлетворяют необходимы отношения.
