A method and apparatus for combining the spectral outputs of multiple light
sources to provide a high-efficiency broad-band illuminator for optical
metrology is disclosed. The illuminator combines the output radiation from
a plurality of broad-band lamps in a novel optical arrangement that
creates a virtual source and avoids the use of beam-splitters.
Consequently, the illuminator offers increased performance at reduced
cost. The illuminator can be optimized and configured for application in a
broad class of optical metrology instruments.
Um método e um instrumento para combinar as saídas spectral de fontes claras múltiplas para fornecer um iluminador broad-band high-efficiency para a metrologia ótica são divulgados. O iluminador combina a radiação da saída de um plurality de lâmpadas broad-band em um arranjo ótico da novela que críe uma fonte virtual e evite o uso dos feixe-divisores. Conseqüentemente, o iluminador oferece o desempenho aumentado no custo reduzido. O iluminador pode optimized e configurarado para a aplicação em uma classe larga de instrumentos óticos da metrologia.
