A mechanical oscillator is provided for use in micro-electromechanical
systems (MEMS) for application in radio frequency filters and oscillators,
motion and pressure sensors and other micro applications. The oscillator
is of monolithic construction and has a high Q with little energy loss
because of teeth attached to the oscillating member which contain energy
and prevent losses.
Een mechanische oscillator wordt verstrekt voor gebruik in micro-electromechanical systemen (MEMS) voor toepassing in radiofrequentiefilters en oscillatoren, motie en druksensoren en andere micro- toepassingen. De oscillator is van monolithische bouw en heeft hoog Q met weinig energieverlies wegens tanden in bijlage aan het oscillerende lid die energie bevatten en verliezen verhinderen.
