Remote semiconductor microscopy

   
   

A method and apparatus are described for remote semiconductor microscopy whereby video signals are broadcast from one or more microscopes to remote viewers. A live video signal is broadcast from the microscope over a network to remote personal computers located in the offices of process engineers. The office-based process engineers are provided real-time, or substantially real-time, views of a wafer, including peripheral views of the wafer outside cell array boundaries. The process engineer, in his office, can direct a technician, operating the microscope in the clean room complex, to display a desired cell region-of-interest with the microscope. As a result, the process engineers can more efficiently collaborate to solve process problems or even develop new process techniques.

Метод и прибор описаны для дистанционной микроскопии полупроводника whereby видеосигналами будут передача от one or more микроскопов к дистанционным телезрителям. Видеосигналом в реальном маштабе времени будет передача от микроскопа над сетью к дистанционным компьютерам расположенным в офисах инженер-технологов. Офис-osnovannye инженер-технологи обеспечены real-time, или существенн в реальном масштабе времени, взгляды вафли, включая периферийные взгляды границ блока клетки вафли внешних. Инженер-технолог, в его офисе, может сразу техник, работая микроскоп в чистом комплексе комнаты, для показа заданного зон-$$$-INTERESA клетки с микроскопом. В результате, инженер-технологи могут эффективно сотрудничать для того чтобы разрешить отростчатые проблемы or even начать новые отростчатые методы.

 
Web www.patentalert.com

< Error corrective mechanisms for consensus decoding of speech

< System design verification using selected states of a processor-based system to reveal deficiencies

> Electro-optically connected multiprocessor configuration including a ring structured shift-register

> System and method for risk management of errors in software program code

~ 00164