A getter device is shaped like a substrate used in a deposition process.
Embodiments of the device include a powdered getter material coated onto
one or both sides of a support with a narrow rim portion left uncoated so
that the device can be manipulated by automatic handling equipment. A
method for using the getter device includes providing a vacuum chamber and
automatic handling equipment, loading the device into the chamber,
reducing the chamber pressure to a desired value by using the getter
device in conjunction with an external pump, removing the getter device
and replacing it with a substrate, and depositing a thin film on the
substrate. The getter device can be in an activated state when loaded into
the chamber, or it can be activated after being loaded by employing
heating equipment ordinarily used to heat substrates placed in the
chamber. The getter material of the device may also be activated in a
separate activation chamber before the getter device is loaded into the
vacuum chamber.
Μια συσκευή κτητόρων διαμορφώνεται όπως ένα υπόστρωμα που χρησιμοποιείται σε μια διαδικασία απόθεσης. Οι ενσωματώσεις της συσκευής περιλαμβάνουν ένα κονιοποιημένο υλικό κτητόρων που ντύνεται και επάνω σε μια ή τις δύο πλευρές μιας υποστήριξης με μια στενή μερίδα πλαισίων που αφήνεται χωρίς επίστρωση έτσι ώστε η συσκευή μπορεί να χειριστεί από τον αυτόματο εξοπλισμό χειρισμού. Μια μέθοδος για τη συσκευή κτητόρων περιλαμβάνει την παροχή μιας κενής αίθουσας και ενός αυτόματου εξοπλισμού χειρισμού, φόρτωση της συσκευής στην αίθουσα, μείωση της πίεσης αιθουσών σε μια επιθυμητή αξία με τη χρησιμοποίηση της συσκευής κτητόρων από κοινού με μια εξωτερική αντλία, αφαίρεση της συσκευής κτητόρων και αντικατάσταση της με ένα υπόστρωμα, και κατάθεση μιας λεπτής ταινίας στο υπόστρωμα. Η συσκευή κτητόρων μπορεί να είναι σε ένα ενεργοποιημένο κράτος όταν φορτώνεται στην αίθουσα, ή μπορεί να ενεργοποιηθεί μετά από να φορτωθεί με τη χρησιμοποίηση του εξοπλισμού θέρμανσης που χρησιμοποιείται συνήθως στα υποστρώματα θερμότητας που τοποθετούνται στην αίθουσα. Το υλικό κτητόρων της συσκευής μπορεί επίσης να ενεργοποιηθεί σε μια χωριστή αίθουσα ενεργοποίησης προτού να φορτωθεί η συσκευή κτητόρων στην κενή αίθουσα.