A system delivers radiation to a substrate with a radiation source to
generate radiation having a source intensity distribution pattern; and a
redistribution radiation guide adapted to receive the radiation from the
radiation source and to direct the radiation from one region to different
regions on the substrate so that the substrate intensity distribution
pattern is different from the source pattern.
Un système fournit le rayonnement à un substrat avec une source de rayonnement pour produire du rayonnement ayant un modèle de distribution d'intensité de source ; et un guide de rayonnement de redistribution s'est adapté pour recevoir le rayonnement de la source de rayonnement et pour diriger le rayonnement d'une région vers différentes régions sur le substrat de sorte que le modèle de distribution d'intensité de substrat soit différent du modèle de source.
