There is provided a film formation apparatus which is capable of forming an
EL layer using an EL material with high purity. The EL material is
purified by sublimation immediately before film formation in the film
formation apparatus, to thereby remove oxygen, water, and another
impurity, which are included in the EL material. Also, when film formation
is performed using the EL material (high purity EL material) obtained by
purifying with sublimation as an evaporation source, a high purity EL
layer can be formed.
Обеспечено прибору образования пленки способно формировать слой el использующ материал el с высокой очищенностью. Материал el очищен сублимацией immediately before образование пленки в приборах образования пленки, таким образом для того чтобы извлечь кислород, воду, и другую примесь, которые включены в материал el. Также, когда образование пленки выполнено использующ материал el (материал el высокой очищенности) полученный путем очищать с сублимацией как источник испарения, слой el высокой очищенности можно сформировать.
