An apparatus and method for performing quality inspections on a test
surface based on optically stimulated emission of electrons. In one
embodiment, the apparatus comprises a device for producing optical
radiation having a plurality of different spectrum lines, selecting at
least one of the spectrum lines, and directing the selected spectrum line
to the test surface, and circuitry for detecting a current of
photoelectrons emitted from the test surface, generating a signal
indicative of photoelectron current, and for indicating a condition of
quality based on the generated signal indicative of the photoelectron
current. In one embodiment, the method comprises producing optical
radiation having a plurality of different spectrum lines, selecting at
least one of the spectrum lines and directing the selected spectrum line
to the test surface, detecting a current of photoelectrons emitted from
the test surface and generating a signal indicative of photoelectron
current, and indicating a condition of quality based on the generated
signal indicative of the photoelectron current.
Συσκευές και μια μέθοδος για τις ποιοτικές επιθεωρήσεις σε μια επιφάνεια δοκιμής βασισμένη στην οπτικά υποκινημένη εκπομπή των ηλεκτρονίων. Σε μια ενσωμάτωση, η συσκευή περιλαμβάνει μια συσκευή για την οπτική ακτινοβολία που έχει μια πολλαπλότητα των διαφορετικών γραμμών φάσματος, που επιλέγει τουλάχιστον μια από τις γραμμές φάσματος, και που κατευθύνει την επιλεγμένη γραμμή φάσματος στην επιφάνεια δοκιμής, και τα στοιχεία κυκλώματος για την ανίχνευση ενός ρεύματος των φωτοηλεκτρονίων που εκπέμπονται από την επιφάνεια δοκιμής, που παράγει ένα σήμα ενδεικτικό του ρεύματος φωτοηλεκτρονίων, και για την ένδειξη ενός όρου της ποιότητας βασισμένου στο παραγμένο σήμα ενδεικτικό του ρεύματος φωτοηλεκτρονίων. Σε μια ενσωμάτωση, η μέθοδος περιλαμβάνει την παραγωγή της οπτικής ακτινοβολίας που έχει μια πολλαπλότητα των διαφορετικών γραμμών φάσματος, που επιλέγει τουλάχιστον μιας από τις γραμμές φάσματος και που κατευθύνει την επιλεγμένη γραμμή φάσματος στην επιφάνεια δοκιμής, που ανιχνεύει ένα ρεύμα των φωτοηλεκτρονίων που εκπέμπονται από την επιφάνεια δοκιμής και που παράγει ένα σήμα ενδεικτικό του ρεύματος φωτοηλεκτρονίων, και που δείχνει έναν όρο της ποιότητας βασισμένο στο παραγμένο σήμα ενδεικτικό του ρεύματος φωτοηλεκτρονίων.
