There is established an easier inspection method with which it is not
required to set up probes on wires. Also, there is provided an inspection
apparatus using this inspection method. With the inspection apparatus or
inspection method, primary coils of an inspection substrate and secondary
coils of a device substrate are superimposed on each other so that a
certain space is maintained therebetween. An AC signal is inputted into
the primary coils, thereby generating an electromotive force in each
secondary coil by electromagnetic induction. Then, each circuit provided
on the device substrate is driven using the electromotive force and
information possessed by an electromagnetic wave or electric field
generated in this circuit is monitored, thereby detecting each defective
spot.
Lá é estabelecido um método mais fácil da inspeção com que não se requer para ajustar acima pontas de prova em fios. Também, é fornecido um instrumento da inspeção usando este método da inspeção. Com o instrumento da inspeção ou o método da inspeção, as bobinas preliminares de uma carcaça da inspeção e as bobinas secundárias de uma carcaça do dispositivo são sobrepostas em se de modo que algum espaço seja mantido therebetween. Um sinal da C. A. inputted nas bobinas preliminares, gerando desse modo uma força electromotive em cada bobina secundária pela indução eletromagnética. Então, cada circuito fornecido na carcaça do dispositivo é dirigido usando a força electromotive e a informação possuída por uma onda eletromagnética ou por um campo elétrico gerada neste circuito é monitorada, detectando desse modo cada ponto defeituoso.
