A system and method for measuring capacitance between a probe and a
semiconductor sample, which may be useful in the field of scanning
capacitance microscopy (SCM). The present invention also includes a method
for analyzing measured capacitance data by subtracting any changes in
capacitance that are due to changes in long-range stray capacitance that
occur when the probe assembly is scanned.
Ένα σύστημα και μια μέθοδος για την ικανότητα μεταξύ ενός ελέγχου και ενός δείγματος ημιαγωγών, οι οποίοι μπορούν να είναι χρήσιμοι στον τομέα της μικροσκόπησης ικανότητας ανίχνευσης (SCM). Η παρούσα εφεύρεση περιλαμβάνει επίσης μια μέθοδο για τα μετρημένα στοιχεία ικανότητας με την αφαίρεση οποιωνδήποτε αλλαγών στην ικανότητα που οφείλονται στις αλλαγές στη μεγάλης ακτίνας περιπλανώμενη ικανότητα που εμφανίζονται όταν ανιχνεύεται η συνέλευση ελέγχων.
