A transfer robot (5) for thin substrate capable of efficiently detecting
the stored state of thin substrates and an inspection method for thin
substrate capable of accurately detecting the stored state of thin
substrates; the robot (5), comprising an inspection camera (1) for
detecting the stored state of the thin substrates (3) in a storage
cassette (2), wherein the plurality of thin substrates (3) stored in the
storage cassette (2) are carried out from the storage cassette (2) by the
robot.
Um robô de transferência (5) para a carcaça fina capaz eficientemente de detectar o estado armazenado de carcaças finas e um método da inspeção para a carcaça fina capaz exatamente de detectar o estado armazenado de carcaças finas; o robô (5), compreendendo uma câmera da inspeção (1) para detectar o estado armazenado das carcaças finas (3) em uma gaveta do armazenamento (2), wherein o plurality das carcaças finas (3) armazenadas na gaveta do armazenamento (2) é realizado da gaveta do armazenamento (2) pelo robô.
