A semiconductor inspection tool includes a robot, a first wafer carrier
proximate the robot, a first wafer inspection module proximate the robot,
a second wafer inspection module proximate the robot, and a controller
configured for controlling the robot to pass wafers between the first
wafer carrier, the first wafer inspection module, and the second wafer
inspection module.
Ένα εργαλείο επιθεώρησης ημιαγωγών περιλαμβάνει ένα ρομπότ, έναν πρώτο μεταφορέα γκοφρετών εγγύτατους το ρομπότ, μια πρώτη ενότητα επιθεώρησης γκοφρετών εγγύτατη το ρομπότ, μια δεύτερη ενότητα επιθεώρησης γκοφρετών εγγύτατη το ρομπότ, και έναν ελεγκτή που διαμορφώνεται για τον έλεγχο του ρομπότ για να περάσει τις γκοφρέτες μεταξύ του πρώτου μεταφορέα γκοφρετών, της πρώτης ενότητας επιθεώρησης γκοφρετών, και της δεύτερης ενότητας επιθεώρησης γκοφρετών.
