A system for the treatment of CMP wastewater, including wastewater from a
copper CMP process. The wastewater treatment system includes a coagulant
supply tank from which an FSC polymer coagulant is directed into a
reaction tank that separately receives the untreated wastewater. The
coagulant may be mixed with the untreated wastewater in selected ratios to
provide a desired dosing quantity of the coagulant in the reaction tank.
As the wastewater and the FSC polymer coagulant are mixed in the reaction
tank, the coagulant flocs the slurry chemicals in the wastewater and
removes the chemicals from solution in the wastewater as a precipitate
before the wastewater is directed to a clarifier. The clarifier separates
the flocked precipitate from the wastewater, and the flocked particles
settle on the bottom of the clarifier to form a sludge. The sludge is
re-distributed back into the clarifier to coagulate inert particles in the
wastewater.
Un système pour le traitement de l'eau usagée de CMP, y compris l'eau usagée d'un processus de CMP de en cuivre. Le système de traitement des eaux résiduaires inclut un réservoir d'approvisionnement de coagulant dont un coagulant de polymère de FSC est dirigé dans un réservoir de réaction qui reçoit séparément l'eau usagée non traitée. Le coagulant peut être mélangé à l'eau usagée non traitée dans des rapports choisis pour fournir une quantité de dosage désirée du coagulant dans le réservoir de réaction. Pendant que l'eau usagée et le coagulant de polymère de FSC sont mélangés dans le réservoir de réaction, les floculations de coagulant les produits chimiques de boue dans l'eau usagée et enlève les produits chimiques de la solution dans l'eau usagée pendant qu'un précipité avant l'eau usagée est dirigé vers un purificateur. Le purificateur sépare le précipité assemblé de l'eau usagée, et les particules assemblées arrangent sur le fond du purificateur pour former un cambouis. Le cambouis est redistribué de nouveau dans le purificateur pour coaguler les particules inertes dans l'eau usagée.
