Short edge smoothing for enhanced scatter bar placement

   
   

An edge-smoothing process identifies a target edge fragment among a number of edge fragments that form a feature in a photolithographic design. Each of the edge fragments has a length and a classification. The length of the target edge fragment is less than a minimum scatter bar length. The target edge fragment is also classified so that it will receive a scatter bar, and the target edge fragment has a collinear edge fragment. The target edge fragment is smoothed in conjunction with the collinear edge fragment to increase the length of the target edge fragment.

Un processo dispianatura identifica un frammento del bordo dell'obiettivo fra un certo numero di frammenti del bordo che formano una caratteristica in un disegno photolithographic. Ciascuno dei frammenti del bordo ha una lunghezza e una classificazione. La lunghezza del frammento del bordo dell'obiettivo è di meno che una lunghezza minima della barra dello spargimento. Il frammento del bordo dell'obiettivo inoltre è classificato in modo che ricevi una barra dello spargimento ed il frammento del bordo dell'obiettivo ha un frammento collinear del bordo. Il frammento del bordo dell'obiettivo è lisciato insieme con il frammento collinear del bordo per aumentare la lunghezza del frammento del bordo dell'obiettivo.

 
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