In a charged particle microscope equipped with a sample stage having an
inclination function, the invention provides a construction that prevents
inclination driving of the sample stage from affecting other peripheral
devices to be additionally installed such as an optical microscope. In the
charged particle microscope according to the invention, a sample stage
having an inclination mechanism includes a rotation support portion of the
inclination mechanism on sidewalls of a vacuum chamber, and at least a
detection portion of other peripheral devices additionally installed such
as (1) an optical microscope, (2) a laser scattering microscope and (3) an
optical height detection system is fitted to the rotation support portion
inside the chamber in such a fashion as to be capable of moving with a
rotary shaft of the inclination mechanism, and members that cannot be
arranged in vacuum are installed outside the chamber.
Dans un microscope chargé de particules équipé d'une étape témoin ayant une fonction de inclination, l'invention fournit une construction qui empêche la conduite de inclination de l'étape témoin d'affecter d'autres périphériques à installer en plus comme un microscope optique. Dans le microscope chargé de particules selon l'invention, une étape témoin ayant un mécanisme de inclination inclut une partie de soutien de rotation du mécanisme de inclination sur des parois latérales d'une chambre de vide, et au moins une partie de détection d'autres périphériques en plus installés comme (1) un microscope optique, (2) un laser dispersant le microscope et (3) un système optique de détection de taille est adapté à la partie de soutien de rotation à l'intérieur de la chambre d'une telle mode quant à soient capables de se déplacer avec un axe rotatoire du mécanisme de inclination, et des membres qui ne peuvent pas être arrangés dans le vide sont installés en dehors de la chambre.
