Polarizer and microlithography projection system with a polarizer

   
   

A polarizer suitable for transforming incident linearly polarized or circularly polarized light into exiting radially or tangentially polarized light with virtually no transmission losses has, in one of its embodiments, a plate fabricated from birefringent material on whose entrance and exit faces small zones (11, 12) with deflecting structures (8, 9) in the form of gratings or Fresnel surfaces have been created. The crystal axis (5) of said birefringent material is aligned parallel to the incident light beam. Said deflecting structures deflect light along a transmission direction (13) that is inclined with respect to said crystal axis (5), causing a phase shift between the field components of the transmitted light. Suitable choices of the angle of inclination (NW) of said transmission direction with respect to said crystal axis and the thickness (D) of said plate will allow transforming incident linearly polarized or circularly polarized light into an exiting light beam with an axisymmetric (tangential or radial) polarization distribution.

Un polarizzatore adatto a luce linearmente polarizzata o circolarmente polarizzata di trasformazione di avvenimento nel rimuovere la luce radialmente o tangenzialmente polarizzata con virtualmente nessun perdite di trasmissione ha, in uno dei relativi incorporamenti, una piastra fabbricata da materiale birifrangente di cui zone delle facce dell'uscita e dell'entrata sulle piccole (11, 12) con la deviazione struttura (8, 9) sotto forma di le grate o le superfici del Fresnel sono stati generati. L'asse di cristallo (5) di materiale birifrangente detto è parallelo stato allineato al raggio di luce di avvenimento. Le strutture di deviazione dette deviano la luce lungo un senso di trasmissione (13) che è propenso riguardo all'asse di cristallo detto (5), causante di sfasamento fra i componenti del campo della luce trasmessa. Le scelte adatte dell'angolo dell'inclinazione (nanowatt) del senso di trasmissione detto riguardo all'asse di cristallo detto e dello spessore (D) della piastra detta concederanno trasformare la luce linearmente polarizzata o circolarmente polarizzata di avvenimento in un raggio di luce rimuovente con una distribuzione (tangenziale o radiale) axisymmetric di polarizzazione.

 
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