A method for fabricating titanium-indiffusion waveguides in optical
modulators and other optical waveguide devices includes disposing
titanium, strips in a waveguide pattern on the surface of a crystalline
substrate, such as lithium niobate or lithium tantalate, and indiffusing
the titanium atoms into the crystalline substrate by creating a flowing,
wet deuterium oxide (D.sub.2 O) environment, raising the temperature in
the D.sub.2 O environment to a temperature within the range of 900 degrees
Celsius and 1100 degrees Celsius and maintaining the temperature for a
period of time that will allow for the necessary indiffusion of titanium
to occur within the crystal substrate. The Ti-indiffusion waveguides that
result from performing the Ti-indiffusion process in a flowing, wet
D.sub.2 O environment include crystalline substrates, such as lithium
niobate or lithium tantalate, titanium strips disposed in a waveguide
pattern on the crystalline substrate and a diffusion region resulting from
high temperature processing in a flowing, wet D.sub.2 O environment.
Eine Methode für das Fabrizieren der Titan-indiffusion Wellenleiter in den optischen Modulatoren und in anderen optischen Wellenleitervorrichtungen schließt die Abschaffung des Titans, Streifen in einem Wellenleitermuster auf der Oberfläche eines kristallenen Substrates, wie Lithium Niobate oder Lithium tantalate und Indiffusing die Titanatome in das kristallene Substrat ein, indem sie ein Fließen, nasses Deuteriumoxid verursacht (D.sub.2 O) das Klima, die Temperatur im D.sub.2 O Klima zu einer Temperatur innerhalb des Bereiches 900 Grad Celsius und 1100 Grad aufwerfend Celsius und behalten die Temperatur während eines Zeitabschnitts bei, der das notwendige indiffusion des Titans innerhalb des Kristallsubstrates auftreten darf. Die Ti-indiffusion Wellenleiter, die aus dem Durchführen des Ti-indiffusion Prozesses in einem Fließen resultieren, nasses D.sub.2 O Klima schließen kristallene Substrate, wie Lithium Niobate oder Lithium tantalate, Titanstreifen mit ein, die in einem Wellenleitermuster auf dem kristallenen Substrat abgeschaffen werden und eine Diffusion (Zerstäubung) Region, resultierend aus der Hochtemperaturverarbeitung in einem Fließen, nasses D.sub.2 O Klima.
