Methods and apparatus for generating high-density plasma

   
   

Methods and apparatus for generating a strongly-ionized plasma are described. An apparatus for generating a strongly-ionized plasma according to the present invention includes an anode and a cathode that is positioned adjacent to the anode to form a gap there between. An ionization source generates a weakly-ionized plasma proximate to the cathode. A power supply produces an electric field in the gap between the anode and the cathode. The electric field generates excited atoms in the weakly-ionized plasma and generates secondary electrons from the cathode. The secondary electrons ionize the excited atoms, thereby creating the strongly-ionized plasma

Os métodos e os instrumentos para gerar um plasma forte-ionizado são descritos. Um instrumento para gerar um plasma forte-ionizado de acordo com a invenção atual inclui um ânodo e um cátodo que seja posicionado junto ao ânodo para dar forma lá a uma abertura no meio. Uma fonte do ionization gera um plasma fraco-ionizado proximate ao cátodo. Uma fonte de alimentação produz um campo elétrico na abertura entre o ânodo e o cátodo. O campo elétrico gera átomos excitados no plasma fraco-ionizado e gera elétrons secundários do cátodo. Os elétrons secundários ionizam os átomos excitados, criando desse modo o plasma forte-ionizado

 
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