Provided are a device, method and storage medium, which, when a memory LSI
defect analysis apparatus is used as a monitoring device to estimate
reductions in yield, automatically interprets results, and calculates the
period of distribution patterns and the mix rate of regular patterned
defects. The total defect number of bits is found, and the factor f, is
selected. The value of expected value functions, T(f), for the selected f
is found, and if it is decided that regularly patterned defects are
included, then regular pattern defect mix rate function MR(f) is
calculated from number of bits, factor f, and the value of estimated value
function T(f). If it is decided that it does not contain regularly
patterned defects the regular patterned defect mix rate function MR(f) is
assumed to be zero; and it is confirmed whether or not MR(f) has been
found for every f.
При условии приспособление, метод и носительа записи, который, когда будет использован прибор анализа дефекта lsi памяти по мере того как контролируя приспособление для того чтобы оценить уменьшения в выходе, автоматически интерпретирует результаты, и высчитывает периодо размещения ценных бумаг картины и тариф смешивания регулярно сделанных по образцу дефектов. Полный номер дефекта битов найден, и фактор ф, выбран. Значение предпологаемого значения действует, T(f), для выбранного ф находит, и если решено, то что регулярно делаемыми по образцу дефектами будут включенная, после этого регулярно функция MR(f) тарифа смешивания дефекта картины высчитывает от номера битов, фактора ф, и значения функции T(f) вычисленная стоимость. Если решено, то что оно не содержит регулярно делаемые по образцу дефекты предположены, что будет регулярно сделанная по образцу функция MR(f) тарифа смешивания дефекта нул; и подтвержено было найдено ли или не MR(f) для каждого ф.
