There will be provided a mass spectrometer for detecting impurity in sample
gas of a low flow rate. A mass spectrometer including: an atmospheric
pressure chemical ionization source having a primary ionization part 28
for generating a primary ion by means of electric discharge of reagent
gas, and a secondary ionization part 23 for generating an ion of the
sample by a reaction of the primary ion and the sample; a mass
spectrometric part 11 for performing mass spectrometric analysis of the
ion generated; a mixing portion 33 for mixing the sample to be introduced
into the secondary ionization part with dilution gas; and a mean 30 for
controlling a flow rate of the dilution gas for flowing through the mixing
portion; and a mean 12-1 or 12-2 or 12-3 for controlling a flow rate of
the sample gas, wherein mixed gas obtained by mixing the sample with the
dilution gas is introduced into the secondary ionization part and the
sample is ionized.
Se proporcionará un espectrómetro total para detectar la impureza en gas de la muestra de un caudal bajo. Un espectrómetro total incluyendo: una fuente química de la ionización de la presión atmosférica que tiene una parte primaria 28 de la ionización para generar un ion primario por medio de la descarga eléctrica del gas el reactivo, y una parte secundaria 23 de la ionización para generar un ion de la muestra por una reacción del ion primario y de la muestra; una parte spectrometric total 11 para realizar el análisis spectrometric total del ion generó; una porción que se mezcla 33 para mezclar la muestra que se introducirá en la pieza secundaria de la ionización con el gas de la dilusión; y 30 malos para controlar un caudal del gas de la dilusión para atravesar la porción que se mezcla; y un 12-1 o un 12-2 o un 12-3 malo para controlar un caudal del gas de la muestra, en donde el gas mezclado obtenido mezclando la muestra con el gas de la dilusión se introduce en la pieza secundaria de la ionización y la muestra se ioniza.
