A temperature sensing and control method and apparatus. In one aspect of
the present invention, an apparatus according to the teachings of the
present invention includes an optical path disposed in semiconductor
material, a grating disposed in the optical path, and a thermal probe
including an optical sensor optically coupled to the grating to sense a
spectral response of the grating. The thermal probe is adapted to
determine a temperature of the optical path in which the grating is
disposed in response to the spectral response of the grating.
Detección de una temperatura y método y aparato de control. En un aspecto de la actual invención, un aparato según las enseñanzas de la actual invención incluye una trayectoria óptica dispuesta en material del semiconductor, una rejilla dispuesta en la trayectoria óptica, y una punta de prueba termal incluyendo un sensor óptico ópticamente juntado a la rejilla para detectar una respuesta espectral de la rejilla. La punta de prueba termal se adapta para determinar una temperatura de la trayectoria óptica en la cual la rejilla se dispone en respuesta a la respuesta espectral de la rejilla.
