Porous silica granule, method for producing the same, and method for producing synthetic quartz glass powder using the porous silica granule

   
   

The granule consists of individual granules approximately spherical in shape, having a pore volume of 0.5 cm.sup.3, a mean diameter of pores of 50 nm or less, a specific surface area of 100 m.sup.2 /g or less, and a bulk density of 0.7 g/cm.sup.3 or higher. It is produced by dispersing a fumed silica obtained by hydrolysis of a silicon compound into pure water to obtain a slurry, and drying the slurry. The granule is used for producing high purity synthetic quartz glass powder. The method further comprises: a first heat treatment under an oxygen-containing atmosphere, a second heat treatment in a temperature range of from 600 to 1100.degree. C., and a third heat treatment in a temperature range of from 1100 to 1300.degree. C. under an atmosphere containing hydrogen chloride; and a step of densification comprising calcining the product at a temperature not higher than 1500.degree. C. under vacuum or in an atmosphere of gaseous hydrogen or gaseous helium. To calcine the powder without causing fusion adhesion of the particles, bubbling fluidization of said porous silica granule is conducted by supplying gaseous helium and calcining thereof in a temperature range of from 1000 to 1600.degree. C.

O granule consiste nos granules individuais aproximadamente esféricos na forma, tendo um volume do pore de 0.5 cm.sup.3, um diâmetro médio dos pores de 50 nm ou menos, uma área de superfície específica de 100 m.sup.2 /g ou menos, e uma densidade de maioria de 0.7 g/cm.sup.3 ou mais altamente. É produzido dispersando um silicone fumed obtido pelo hydrolysis de um composto do silicone na água pura para obter uma pasta, e secando a pasta. O granule é usado produzindo o pó sintético do vidro de quartzo do purity elevado. O método mais adicional compreende: um primeiro tratamento de calor sob uma atmosfera oxigênio-contendo, um segundo tratamento de calor em uma escala de temperatura de 600 a 1100.degree. C., e um terceiro tratamento de calor em uma escala de temperatura de 1100 a 1300.degree. C. sob uma atmosfera que contem o cloreto de hidrogênio; e uma etapa do densification que compreende que calcining o produto em uma temperatura não mais altamente do que 1500.degree. C. sob o vácuo ou em uma atmosfera do hidrogênio gasoso ou do helium gasoso. Para calcine o pó sem causar a adesão da fusão das partículas, o fluidization borbulhando de granule poroso dito do silicone é conduzido fornecendo o helium gasoso e calcining disso em uma escala de temperatura de 1000 a 1600.degree. C.

 
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