Several methods and structures for improving the yield of out-of-plane
micro-device structures including springs and coils are described. In one
method the springs used to form out-of-plane structures are constrained
via a tether to avoid bunching and entanglement. The high yield structure
may be used in numerous electronic applications such as filter circuits.
Διάφορες μέθοδοι και δομές για τη βελτίωση της παραγωγής των έξω-$$$-ΕΠΊΠΕΔΩΝ δομών μικροϋπολογιστής-συσκευών συμπεριλαμβανομένων των ελατηρίων και των σπειρών περιγράφονται. Σε μια μέθοδο τα ελατήρια που χρησιμοποιούνται στις έξω-$$$-ΕΠΊΠΕΔΕΣ δομές μορφής περιορίζονται μέσω ενός σχοινιού για να αποφύγουν συσσώρευση και εμπλοκή. Η υψηλή δομή παραγωγής μπορεί να χρησιμοποιηθεί στις πολυάριθμες ηλεκτρονικές εφαρμογές όπως τα κυκλώματα φίλτρων.
