To provide a continuous oscillation laser apparatus, and a manufacturing
method of a semiconductor device using the continuous oscillation laser
apparatus, which can enhance processing efficiency. A laser apparatus
according to the present invention includes: a laser oscillation
apparatus; a unit for rotating an object to be processed; a unit for
moving the object to be processed toward a center of the rotation or
toward an outside from the center; and an optical system for processing a
laser light outputted from the laser oscillation apparatus and irradiating
the processed laser light to a definite region in a moving range of the
object to be processed, in which, while the object to be processed is
rotated, the object to be processed is moved toward the center of the
rotation or toward the outside from the center to move a position where
the definite region and the object to be processed overlap.
Einen Apparat Laser der ungedämpften Schwingung und eine Produktionsmethode eines Halbleiterelements mit dem Apparat Laser der ungedämpften Schwingung zur Verfügung stellen, der die Verarbeitung von von Leistungsfähigkeit erhöhen kann. Ein Laser Apparat entsprechend der anwesenden Erfindung schließt ein: ein Laser Pendelbewegung Apparat; eine Maßeinheit für das Drehen eines verarbeitet zu werden Gegenstandes; eine Maßeinheit für das Verschieben des zu einer Mitte der Umdrehung oder in Richtung zu einer Außenseite von der Mitte verarbeitet zu werden Gegenstandes,; und ein optisches System für die Verarbeitung eines Laserlichts outputted vom Laser Pendelbewegung Apparat und das verarbeitete Laserlicht zu einer definitiven Region in einer beweglichen Strecke des verarbeitet zu werden Gegenstandes bestrahlend, in dem, während der verarbeitet zu werden Gegenstand gedreht wird, der verarbeitet zu werden Gegenstand zur Mitte der Umdrehung oder in Richtung zur Außenseite von der Mitte verschoben wird, um eine Position zu verschieben in der die definitive Region und der Gegenstand, um verarbeitete Deckung zu sein.
