Photoacid generator salts comprising photoactive cationic moieties and
segmented, highly fluorinated-hydrocarbon anionic moieties are disclosed
which provide high photoacid strength and can be tailored for solubility
and polarity. The present invention further relates to photoacid
generators as they are used in photoinitiated acid-catalyzed processes for
uses such as photoresists for microlithography and photopolymerization.
Photoacid Generator salzt das Enthalten der photoactive kationischen Hälften und segmentiert, in hohem Grade Fluoriertkohlenwasserstoff werden anionische Hälften freigegeben, die hohe photoacid Stärke liefern und für Löslichkeit und Polarität hergestellt werden können. Die anwesende weitere Erfindung bezieht auf photoacid Generatoren, wie sie innen photoinitiated Säure-katalysierte Prozesse für Gebrauch wie Photoresists für microlithography und photopolymerization benutzt werden.
