The object of the present invention is to provide an optically functional
element having a large change in refractive index with temperature change
and a fast change rate in refractive index, a production method for the
same and optical switch, temperature sensor and optical information
recording medium using the same. The present invention provides a thin
film formed directly on a substrate or via other layers, and the film is
composed of particles with an average diameter of not larger than 13 nm,
observed at film surface. The present invention also provides an optically
functional element having an amount of change in refractive index of not
less than 2.0.times.10.sup.-4 /.degree. C. The present invention further
provides a production method for said thin film by sputtering under
reduced pressure in an inert gas atmosphere containing 3-15% by volume of
oxygen, and optical switch, temperature sensor and optical information
recording medium using said element.
Het doel van de onderhavige uitvinding is een optisch functioneel element dat een grote verandering in r i van temperatuurverandering en een snel veranderingstarief in r i te voorzien, een productiemethode voor de zelfde en optische schakelaar, de temperatuursensor en het optische middel heeft dat van de informatieopname het zelfde gebruikt. De onderhavige uitvinding verstrekt een dunne film die direct op een substraat of via andere lagen wordt gevormd, en de film is samengesteld uit deeltjes met een gemiddelde diameter van niet groter dan 13 NM, die aan filmoppervlakte wordt waargenomen. De onderhavige uitvinding verschaft ook een optisch functioneel element dat een hoeveelheid verandering in r i van niet minder dan 2.0.times.10.sup.-4/degree. heeft C. De onderhavige uitvinding verstrekt een productiemethode voor bovengenoemde dunne film door onder verminderde druk in een inert gasatmosfeer te sputteren die 3-15% in volume van zuurstof bevat, en optische schakelaar, verder temperatuursensor en het optische middel van de informatieopname gebruikend bovengenoemd element.
