Maskless photon-electron spot-grid array printer

   
   

A high resolution and high data rate spot grid array printer system is provided, wherein an image representative of patterns to be recorded on a reticle or on a layer of a semiconductor die is formed by scanning a substrate with electron beams. Embodiments include a printer comprising an optical radiation source for irradiating a photon-electron converter with a plurality of substantially parallel optical beams, the optical beams being individually modulated to correspond to an image to be recorded on the substrate. The photon-electron converter produces an intermediate image composed of an array of electron beams corresponding to the modulated optical beams. A de-magnifier is interposed between the photon-electron converter and the substrate, for reducing the size of the intermediate image. A movable stage introduces a relative movement between the substrate and the photon-electron converter, such that the substrate is scanned by the electron beams.

Обеспечена high resolution и высокая система принтера блока решетки пятна тарифа данных, при котором представитель изображения картин, котор нужно записать на перекрещении или на слое плашки полупроводника сформирован путем просматривать субстрат с электронными лучами. Воплощения вклюают принтер состоя из оптически источника радиации для облучать конвертер фотон-3lektrona с множественностью существенн параллельных оптически лучей, оптически лучей индивидуально будучи модулированными для того чтобы соответствовать к изображению, котор нужно записать на субстрате. Конвертер фотон-3lektrona производит промежуточное изображение составленное блока электронных лучей соответствуя к модулируемым оптически лучам. Де-uvelicitel6 interposed между конвертером фотон-3lektrona и субстратом, для уменьшения размера промежуточного изображения. Подвижной этап вводит относительное движение между субстратом и конвертером фотон-3lektrona, таким что субстрат просмотрен электронными лучами.

 
Web www.patentalert.com

< Radiation sensor device

< Object finder for photographic images

> Large area, fast frame rate charge coupled device

> Vertical color filter sensor group with non-sensor filter and method for fabricating such a sensor group

~ 00154