Vertical color filter sensor group with non-sensor filter and method for fabricating such a sensor group

   
   

A vertical color filter sensor group formed on a substrate (preferably a semiconductor substrate) and including at least two vertically stacked, photosensitive sensors. In preferred embodiments, the sensor group includes at least one filter positioned relative to the sensors such that radiation that has propagated through or reflected from the filter will propagate into at least one sensor. Preferably, the filter is or includes a layer that has been integrated with the sensors by a semiconductor integrated circuit fabrication process. In other embodiments, the sensor group includes a micro-lens. Other aspects of the invention are arrays of vertical color filter sensor groups, some or all of which include at least one filter or micro-lens, and methods for fabricating vertical color filter sensor groups and arrays thereof.

Un gruppo verticale ha formato su un substrato (preferibilmente un substrato a semiconduttore) e sull'includere almeno due impilato verticalmente, sensori fotosensibili del sensore del filtrante di colore. Nei metodo di realizzazione preferito, il gruppo del sensore include almeno un filtro posizionato riguardante i sensori tali che la radiazione che ha propagato attraverso o ha riflesso dal filtro si propagherà almeno in un sensore. Preferibilmente, il filtro è o include uno strato che è stato integrato con i sensori tramite un processo di montaggio del circuito integrato a semiconduttore. In altri incorporamenti, il gruppo del sensore include un micro-obiettivo. Altre funzioni dell'invenzione sono allineamenti dei gruppi verticali del sensore del filtrante di colore, alcuni o che includono almeno un filtro o micro-obiettivo ed i metodi per fabbricare il sensore verticale del filtrante di colore raggruppa ed allinea di ciò.

 
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