A combination of active and passive force actuators provide adjustments to
the shape of an optical element to reduce or compensate for aberrations in
an optical system. Passive actuators at a high spatial frequency are
capable of correcting higher order steady state components of shape error
while dynamic corrections of higher frequency, operationally dependent is
provided allowing the number of active actuators and the power supplied to
each active actuator to be reduced; reducing heating of the optical
element by the active actuators and increasing stability of the system.
Compound actuators including a combination of an active actuator portion
with a passive actuator portion (which provides a mechanical force bias to
the active actuator portion) allows increased spatial flexibility of
application of forces to the optical element and other advantages.
Eine Kombination der aktiven und passiven Kraftauslöser stellen Justagen zur Form eines optischen Elements zur Verfügung, um Abweichungen in einem optischen System zu verringern oder zu entschädigen. Passive Auslöser bei einer hohen räumlichen Frequenz sind zum Beheben höherer Auftrag der Lagebestandteile der Formstörung fähig, während dynamische Korrekturen der höheren Frequenz, betrieblich Abhängiger zur Verfügung gestellt wird, die Zahl aktiven Auslösern und die Energie erlaubend, die an jeden aktiven verringert zu werden geliefert wird Auslöser,; Verringern der Heizung des optischen Elements durch die aktive Auslöser- und Erhöhungsstabilität des Systems. Zusammengesetzte Auslöser einschließlich eine Kombination eines aktiven Auslöserteils mit einem passiven Auslöser teilen (der eine mechanische Kraftvorspannung zum aktiven Auslöserteil zur Verfügung stellt), erlaubt erhöhte räumliche Flexibilität der Anwendung der Kräfte zum optischen Element und zu anderen Vorteilen ein.
