In a method for processing a workpiece to remove material from a first
surface of the workpiece, steam is introduced onto the first surface under
conditions so that at least some of the steam condenses and forms a liquid
boundary layer on the first surface. The condensing steam helps to
maintain the first surface of the workpiece at an elevated temperature.
Ozone is provided around the workpiece under conditions where the ozone
diffuses through the boundary layer and reacts with the material on the
first surface. The temperature of the first surface is controlled to
maintain condensation of the steam.
Em um método para processar um workpiece para remover o material de uma primeira superfície do workpiece, o vapor é introduzido na primeira superfície sob circunstâncias de modo que ao menos algum do vapor condense e dê forma a uma camada de limite líquida na primeira superfície. O vapor condensando-se ajuda manter a primeira superfície do workpiece em uma temperatura elevated. O ozônio é fornecido em torno do workpiece sob as circunstâncias aonde o ozônio difunde com a camada de limite e reage com o material na primeira superfície. A temperatura da primeira superfície é controlada para manter a condensação do vapor.
