An inspection system calibration method includes producing two sideband
signals of a first wavefront; interfering the two sideband signals in a
photorefractive material, producing an output signal therefrom having a
frequency and a magnitude; and producing a phase modulated operational
signal having a frequency different from the output signal frequency, a
magnitude, and a phase modulation amplitude. The method includes
determining a ratio of the operational signal magnitude to the output
signal magnitude, determining a ratio of a 1st order Bessel function of
the operational signal phase modulation amplitude to a 0th order Bessel
function of the operational signal phase modulation amplitude, and
comparing the magnitude ratio to the Bessel function ratio.
Un método de la calibración del sistema de la inspección incluye producir dos señales de la banda lateral de un primer frente de onda; interfiriendo las dos señales de la banda lateral en un material photorefractive, produciendo una señal de salida therefrom que tiene una frecuencia y una magnitud; y producir una fase moduló la señal operacional que tenía una frecuencia diferente de la frecuencia de la señal de salida, de una magnitud, y de una amplitud de la modulación de la fase. El método incluye la determinación de un cociente de la magnitud operacional de la señal a la magnitud de la señal de salida, determinando un cociente de una función de Bessel De la 1ra orden de la amplitud operacional de la modulación de la fase de la señal a una 0a función de Bessel De la orden de la amplitud operacional de la modulación de la fase de la señal, y comparando el cociente de la magnitud al cociente de la función de Bessel.
