Method and apparatus for compensation of time-varying optical properties of gas in interferometry

   
   

In general, in one aspect, the invention features a method, including interferometrically measuring first and second optical path lengths to a measurement object along respective first and second paths, wherein the measurement of the optical path lengths includes directing first and second measurement beams to reflect from the measurement object, measuring propagation directions of the first and second measurement beams, compensating the first measured optical path length for time-varying optical properties of gas in the first path based on the first and second measured optical path lengths and the first and second measured propagation directions.

В общем, в одном аспекте, вымысел отличает методом, включая interferometrically измерять сперва и во-вторых оптически длины курса к предмету измерения вдоль соответственно первых и вторых курсов, при котором измерение оптически длин курса вклюает сразу сперва и вторые лучи измерения, котор нужно отразить от предмета измерения, измеряя направления распространения первых и вторых лучей измерения, компенсируя сперва измеренную оптически длину курса для врем-men4t6 оптически свойства газа в первом курсе основанном на первых и вторых измеренных оптически длинах курса и первых и вторых измеренных направлениях распространения.

 
Web www.patentalert.com

< Method of activating optical communication system, channel increasing/decreasing method, and computer-readable recording medium

< Laser interferometer displacement measuring system, exposure apparatus, and electron beam lithography apparatus

> Cavity-enhanced liquid absorption spectroscopy

> Method for optimizing an illumination source using full resist simulation and process window response metric

~ 00153