An optoelectronic device such as a vertical cavity surface emitting laser
(VCSEL) includes a tunnel junction that conducts a current of holes
tunneling into an active region. Tunneling in a selected area of the
tunnel junction is disabled to form a current blocking region that
confines the current to desired regions. Tunneling can be disabled in the
selected area using techniques including but not limited to implanting or
diffusing dopants, disrupting crystal structure, or etching to remove part
of the tunnel junction.
Eine optoelektronische Vorrichtung wie ein ausstrahlender Oberflächenlaser des vertikalen Raums (VCSEL) schließt eine Tunnelverzweigung ein, die einen Strom der Bohrungen leitet, die in eine aktive Region einen Tunnel anlegen. Das Einen Tunnel anlegen in einem vorgewählten Bereich der Tunnelverzweigung wird gesperrt, um eine gegenwärtige blockierende Region zu bilden, die den Strom auf gewünschten Regionen begrenzt. Das Einen Tunnel anlegen kann im vorgewählten Bereich mit den Techniken gesperrt werden, die aber nicht einschließen, auf das Einpflanzen begrenzt werden oder Dopante, störende Kristallstruktur oder das Ätzen, die zerstreuen, um Teil der Tunnelverzweigung zu entfernen.
