The functionality of various process control and data collection system
embodiments may be improved by employing the database methodology
disclosed herein during the requirements-analysis phase for data
collection and process control in a semiconductor manufacturing
environment. The relational database storage technology as disclosed
herein consists of a set of interconnected tables, where each table has a
field or an amalgamation of fields (primary key) that uniquely identifies
each record (tuple) in the table. In addition, the method as disclosed
herein utilizes foreign keys, which represent the value of a primary key
for a related table. Aggregation levels are also employed in the method as
disclosed herein to associate data from various production
La fonctionnalité de diverses incorporations de système de contrôle du processus de cycle et de collecte de données peut être améliorée en utilisant la méthodologie de base de données révélée ci-dessus pendant la phase d'condition-analyse pour la collecte de données et le contrôle du processus de cycle dans un environnement de fabrication de semi-conducteur. La storage technology de base de données relationnelle comme révélée ci-dessus se compose d'un ensemble de tables reliées ensemble, où chaque table a un champ ou un regroupement des champs (clef primaire) qui identifie uniquement chaque disque (tuple) dans la table. En outre, la méthode comme révélée ci-dessus utilise les clefs étrangères, qui représentent la valeur d'une clef primaire pour une table relative. Des niveaux d'agrégation sont également utilisés dans la méthode comme révélé ci-dessus pour associer des données de diverse production
