Semiconductor PMD layer dielectric

   
   

An embodiment of the invention is a method of manufacturing a semiconductor wafer 2 where a layer of undoped silicon glass 15 is formed over the front-end structure 3. Another embodiment of the present invention is an integrated circuit 2 having a back-end structure 4 in which the dielectric layer 15 contains undoped silicon glass.

Μια ενσωμάτωση της εφεύρεσης είναι μια μέθοδος μια γκοφρέτα 2 ημιαγωγών όπου ένα στρώμα του undoped γυαλιού 15 πυριτίου διαμορφώνεται πέρα από την προηγούμενη δομή 3. Μια άλλη ενσωμάτωση της παρούσας εφεύρεσης είναι ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα 2 που έχει μια δομή 4 οπίσθιου μέρους στην οποία το διηλεκτρικό στρώμα 15 περιέχει το undoped γυαλί πυριτίου.

 
Web www.patentalert.com

< Method of making an ultimate low dielectric device

< Air gap interconnect method

> Multi-pass sintering of a sol-gel body through a hot zone

> Polyol-based method for forming thin film aerogels on semiconductor substrates

~ 00152