Substrate treating apparatus and method

   
   

A series of substrate transport paths for transporting substrates is arranged on upper and lower stories. Substrates are transferable between the substrate transport path on the first story and the substrate transport path on the second story. The paths include a going-only path for transporting the substrates forward, and a return-only path for transporting the substrates in the opposite direction, these paths being arranged on the upper and lower stories. An indexer connects one end of the substrate transport path on one story to one end of the substrate transport path on the other story. An interface connects the other end of the substrate transport path on one story to the other end of the substrate transport path on the other story. This construction efficiently reduces a waiting time due to interference between the substrates transported along the going-only path and the substrates transported along the return-only path.

Uma série de trajetos do transporte da carcaça para transportar carcaças é arranjada em histórias superiores e mais baixas. As carcaças são transferable entre o trajeto do transporte da carcaça na primeira história e o trajeto do transporte da carcaça na segunda história. Os trajetos incluem um trajeto indo-somente para transportar as carcaças para a frente, e retorne-somente o trajeto para transportar as carcaças no sentido oposto, estes trajetos que estão sendo arranjados nas histórias superiores e mais baixas. Um indicador conecta uma extremidade do trajeto do transporte da carcaça em uma história a uma extremidade do trajeto do transporte da carcaça na outra história. Uma relação conecta a outra extremidade do trajeto do transporte da carcaça em uma história à outra extremidade do trajeto do transporte da carcaça na outra história. Esta construção reduz eficientemente uma estadia de espera devido à interferência entre as carcaças transportadas ao longo do trajeto indo-somente e as carcaças transportadas ao longo do retornam-somente o trajeto.

 
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