A plurality of liquids, the flow of each controlled by a volumetric
flowrate controller, are mixed in a mixer to form a final precursor that
is misted and then deposited on a substrate. A physical property of
precursor liquid is adjusted by adjusting the volumetric flowrate
controllers, so that when precursor is applied to substrate and treated,
the resulting thin film of solid material has a smooth and planar surface.
Typically the physical property is the viscosity of the precursor, which
is selected to be relatively low, in the range of 1-2 centipoise.
Um plurality dos líquidos, o fluxo de cada um controlado por um controlador volumetric do flowrate, é misturado em um misturador para dar forma a um precursor final que misted e seja depositado então em uma carcaça. Uma propriedade física do líquido do precursor é ajustada ajustando os controladores volumetric do flowrate, de modo que quando o precursor é aplicado à carcaça e tratado, a película fina resultante do material contínuo tem uma superfície lisa e planar. Tipicamente a propriedade física é a viscosidade do precursor, que é selecionado para ser relativamente baixo, na escala do centipoise 1-2.
